產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號:CY-MSZ200-I-DC-AL
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀是一種緊湊型鍍膜設(shè)備,采用磁控濺射技術(shù)在基片表面沉積薄膜
        詳情介紹:

        桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀是一種緊湊型鍍膜設(shè)備,采用磁控濺射技術(shù)在基片表面沉積薄膜。其核心特點包括:

        鋁合金真空腔體:輕量化設(shè)計,耐腐蝕性好,適合實驗室或小規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境。

        單靶配置:支持單一靶材(如金屬、合金或氧化物),結(jié)構(gòu)簡單,操作便捷。

        磁控濺射技術(shù):利用磁場約束等離子體,提高濺射效率,形成均勻、致密的薄膜。

        桌面設(shè)計:體積小巧,適合科研院所、高校實驗室等空間有限的場所。

        應(yīng)用領(lǐng)域:

        該設(shè)備廣泛用于材料科學(xué)、光學(xué)、電子等領(lǐng)域,具體包括:

        光學(xué)薄膜:如增透膜、反射膜、濾光片等。

        電子器件:半導(dǎo)體電極、導(dǎo)電薄膜(如ITO)、傳感器涂層。

        功能材料:耐磨涂層(如TiN)、防腐涂層、超硬薄膜(類金剛石)。

        科研實驗:新材料開發(fā)、薄膜性能測試、教學(xué)演示等。

        磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品名稱

        桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀

        產(chǎn)品型號

        CY-MSZ200-I-DC-AL

        樣品臺

        外形尺寸

        φ50mm

        旋轉(zhuǎn)

        自轉(zhuǎn)+公轉(zhuǎn)角度傾斜2英寸

        可調(diào)轉(zhuǎn)速

        ≦20rpm

        磁控靶槍

        配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ180mm X 150mm

        腔體材料

        鋁合金

        開啟方式

        上蓋拆卸式

        真空系統(tǒng)

        真空測量

        復(fù)合真空計,量程:10-5~105Pa

        抽氣接口

        KF25

        系統(tǒng)真空

        1.0E-1Pa(機械泵)

        供電電源

        AC 220V 50/60Hz

        輸出功率

        直流電源500W

        其他參數(shù)

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機功率

        2kW

          

        30kg

        整機尺寸

        385X450X420mm


        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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