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PECVD氣相沉積系統
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  • 雙溫區CVD化學氣相沉... CVD(化學氣相沉積)氣相沉積系統是一種常用的薄膜制備技術,通過在高溫下將氣體反應物質與基底表面反應,形成薄膜
  • 三溫區PECVD石墨烯... 三溫區PECVD廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上
  • 熱陰極直流等離子體化學... 熱陰極直流等離子體化學氣相沉積設備(DCCVD)是在常規冷陰極輝光放電基礎上發展起來的,主要用于金剛石單晶或多晶膜的沉積...
  • 卷對卷PECVD石墨烯... 卷對卷PECVD石墨烯制備設備主要應用于計算機和智能手機屏幕,超輕、柔性的太陽能電池,以及新型的發光設備和其他薄膜電子產...
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  • PE-HPCVD等離子... PE-HPCVD等離子增強物理化學氣相沉積由一臺雙溫區管式爐,一套鎢絲蒸發源,一套等離子發生裝置以及一套質量流量計組成。...
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  • 單溫區旋轉PECVD石... 單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率...
  • 卷對卷式PECVD 卷對卷式PECVD是等離子增強型化學氣相沉積設備(PECVD),并加裝了收放卷裝置。本設備可用于線材的連續化熱處理工藝中...
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豫公網安備 41019702002438號

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