產品詳情
        • 產品名稱:單溫區旋轉PECVD石墨烯制備系統

        • 產品型號:CY-PECVD-50R-1200-Q
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調節轉速來更改。可實現在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。 設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上。 本設備特別適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。
        詳情介紹:

        單溫區旋轉PECVD石墨烯制備

        單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調節轉速來更改。可實現在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。

        設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上。

        本設備特別適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。

        技術參數:

        射頻電源

         

         

         

         

         

        輸出功率

        150W

        輸出精度

        ±1%

        射頻頻率

        13.56MHz

        射頻穩定度

        ±0.005%

        冷卻方式

        風冷

        1200℃單溫區管式爐

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        供電電壓

        AC220V50Hz

        *大功率

        2KW

        加熱溫區

        單個溫區200mm

        工作溫度

        *高1200℃,連續運行溫度應≤1100

        控溫精度

        ±1

        控溫方式

        AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

        三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護

        爐管材質

        高純石英

        爐管尺寸

        φ50x800mm

        密封方式

        真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

        可調轉速

        0-20rpm

        傾斜角度

        0-15°

        真空泵

        旋片機械泵

        極限真空度

        1.0E-1Pa

        進料方式

        真空漏斗加螺桿進料


        豫公網安備 41019702002438號

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