產品詳情
        • 產品名稱:桌面型三源蒸發鍍膜儀

        • 產品型號:CY-EVZ254- III-H-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        熱蒸發鍍膜儀的物理過程主要包括材料的蒸發、氣態粒子的輸運以及在基底上的沉積成膜。在蒸發過程中,材料需要獲得足夠的熱能以克服分子間的結合能,從而轉變為氣態分子并從蒸發源表面逸出
        詳情介紹:

        熱蒸發鍍膜儀的物理過程主要包括材料的蒸發、氣態粒子的輸運以及在基底上的沉積成膜。在蒸發過程中,材料需要獲得足夠的熱能以克服分子間的結合能,從而轉變為氣態分子并從蒸發源表面逸出 。這些氣態粒子在輸運過程中基本上無碰撞地直線飛行到基底表面,并在那里凝聚形核生長成固相薄膜

        本產品為專為高真空設計的桌面型小型蒸發鍍膜儀,可提供*大150A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。真空腔體采用不不銹鋼制作,出廠經過除氣處理,配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空,能夠滿足絕大部分材料蒸發所需的真空環境。真空腔體采用前開門開啟方式,便于取放樣,腔體上配置有帶擋板的適應觀察窗,用于觀察鍍膜過程,擋板則可以有效防止觀察窗被膜料污染.

        蒸發鍍膜儀產品特點:

        高純度薄膜:由于在高真空條件下進行,減少了氣體分子與蒸發材料的碰撞,從而能夠制備出高純度的薄膜。
        **控制:蒸發鍍膜技術允許對薄膜的厚度、成分和結構進行**控制,這在許多高精度應用中至關重要。
        適用多種材料:蒸發鍍膜技術可以用于多種材料,包括金屬、合金、氧化物、碳化物、氮化物以及有機材料等。
        高沉積速率:特別是使用電子束蒸發時,由于高能量的電子束能夠快速加熱材料,可以實現高沉積速率。
        均勻性:通過適當的工藝參數調整,可以在大面積基底上獲得均勻的薄膜。
        低損傷:由于加熱主要集中在蒸發材料上,對基底的熱影響較小,適用于熱敏材料的薄膜沉積。

        技術參數:

        產品名稱

        桌面型三源蒸發鍍膜儀

        產品型號

        CY-EVZ254- III-H-SS

        真空腔體

        腔體材質

        304不銹鋼焊接而成,表面做拋光處理

        取放模式

        前開門方式取放樣品和蒸鍍材料

        觀察窗

        直徑80mm真空窗口,配有磁力擋板,防止污染

        樣品臺

        樣品尺寸

        100mm

        旋轉速度

        0-20RPM

        加熱溫度

        300

        蒸發系統

        蒸發源

        塢舟3

        鍍膜方式

        熱蒸發鍍膜

        真空系統

        抽氣接口:KF25/40, 排氣接口: KF16

        復合真空計

        前級泵

        旋片泵  抽速: 1.1L/S

        分子泵

        抽速: 60L/S (大阪分子泵)

        膜厚測量

        通常配CYKY膜厚測量儀 

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機功率

        2KW

        外形尺寸

        710mm X 480mm X690mm 

        包裝重量

        70 KG

        豫公網安備 41019702002438號

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