產(chǎn)品名稱(chēng)：近距離有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐

近距離有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐，具有11"外徑的石英管。它是專(zhuān)為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發(fā)鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部)，zui大加熱速率20oC/s。兩個(gè)30段精密溫度控制器內(nèi)置，精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過(guò)PC操作爐子和溫度曲線(xiàn)記錄。它是研究新一代太陽(yáng)能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽(yáng)能電池。

近距離蒸發(fā)鍍膜爐產(chǎn)品特點(diǎn)：

 1、為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷裝置上。
 2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Φ76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。
 3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發(fā)料。
 4、真空法蘭通過(guò)兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過(guò)機(jī)械泵其腔內(nèi)真空度可達(dá)10-2torr，通過(guò)分子泵真空度可達(dá)10-5torr。
 5、兩個(gè)真空法蘭都可以通過(guò)手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng)。
 6、一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部，可以準(zhǔn)確測(cè)量腔內(nèi)真空度。

近距離蒸發(fā)鍍膜爐技術(shù)規(guī)格：

產(chǎn)品名稱(chēng)	5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐
產(chǎn)品型號(hào)	CY-EVH350JJL-5"-Q
樣品臺(tái)	外形尺寸	5"x5"
	轉(zhuǎn)速	1-20RPM
	可調(diào)溫度	≦950℃
熱蒸發(fā)源	20個(gè)紅外燈管作為加熱元件
真空腔體	腔體尺寸	350 mm Dia x 300 mm h
	觀(guān)察窗口	100 mm
	腔體材質(zhì)	高純石英
	開(kāi)啟方式	前開(kāi)門(mén)式
膜厚測(cè)量	晶體膜厚測(cè)量?jī)x（也可選膜厚控制儀）
真空系統(tǒng)	配有一套分子泵系統(tǒng)
	系統(tǒng)真空	1×10-5Pa
流量計(jì)	兩路浮子流量計(jì) 16 -160 mL/m  500 - 5000 mL/m
工作溫度	每個(gè)加熱器的*高溫度：RT-950℃。 兩個(gè)加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個(gè)加熱器之間的間距：間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部
溫控系統(tǒng)	兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序 每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)
水    冷	循環(huán)水冷機(jī)（KJ-5300型，16L/min)
控制系統(tǒng)	CYKY自研專(zhuān)業(yè)級(jí)控制器
其他參數(shù)	供電電源	208V 60HZ  三相
	整機(jī)尺寸	600mm×650mm×1500mm

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