產品詳情
        • 產品名稱:高真空三源熱蒸發鍍膜儀

        • 產品型號:CY-EVH500-III-HHH-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域:金屬和介電膜 ,薄膜傳感器的制造 ,光學元件 ,納米與微電子 ,太陽能電池等
        詳情介紹:

        本設備為三源高真空蒸發鍍膜儀,設備采用前開門式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱,所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境;真空系統內含有完善的氣動閥系統,用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、完全停機等操作。

        熱蒸發鍍膜儀

        詳情介紹:

        本設備的蒸發源共三組,采取鎢舟蒸發源,水冷式銅電極,可*大支持260A的大電流,加熱溫度*高可達1800℃,可實現多種難熔金屬的蒸鍍,三組獨立熱蒸發源,不會導致鍍材互相污染。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作,在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能優越,是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的必備之選。

        三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域:金屬和介電膜 ,薄膜傳感器的制造 ,光學元件 ,納米與微電子 ,太陽能電池等。

        技術參數:

        產品名稱

        三源高真空蒸發鍍膜儀

        產品型號

        CY-EVH500-III-HHH-SS

        樣品臺

        尺寸

        *大支持φ150mm樣品

        功能

        可旋轉,*高加熱500

        蒸發源

        數量

        鎢舟x3

        電源

        每個蒸發源配一組獨立電源;三個蒸發源共三組獨立電源

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ300x400mm

        觀察窗口

        前置φ100mm

        腔體材料

        304不銹鋼

        開啟方式

        前開門式

        膜厚控制(選配)

        晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀

        真空系統

        前級泵

        雙極旋片泵

        抽氣接口

        KF16

        次級泵

        渦輪分子泵

        抽氣接口

        CF160

        真空測量

        電阻+電離

        復合真空規

        排氣速率

        機械泵1.1L/s

        分子泵 600L/s

        極限真空

        1.0E-5Pa

        供電電源

        AC 220V 50/60Hz

        抽氣速率

        旋片泵:1.1L/S

        控制系統

        PLC自動控制

        操作界面:觸控屏+操作面板

        (觸摸屏可控制沉積過程和快速數據輸入;用戶友好 PLC 軟件系統,可以通過網絡更新)

        其他

        供電電壓

        AC380V,50Hz

        整機尺寸

        1000mm X 800mm X 1500mm

        整機功率

        5kW

        整機重量

        350kg

        豫公網安備 41019702002438號

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