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本設(shè)備為三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀，設(shè)備采用前開門式真空腔體設(shè)計(jì)，腔體空間大，可拓展性強(qiáng)，能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺，可根據(jù)用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉(zhuǎn)、加熱，所有操作均通過觸控屏集成控制。設(shè)備的真空泵組為兩級式真空系統(tǒng)，由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成，可為真空鍍膜試驗(yàn)提供清潔無油的高真空的環(huán)境；真空系統(tǒng)內(nèi)含有完善的氣動閥系統(tǒng)，用戶可通過觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現(xiàn)抽取真空、不停機(jī)取放樣、完全停機(jī)等操作。
詳情介紹：
本設(shè)備的蒸發(fā)源共三組，采取鎢舟蒸發(fā)源，水冷式銅電極，可*大支持260A的大電流，加熱溫度*高可達(dá)1800℃，可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍，三組獨(dú)立熱蒸發(fā)源，不會導(dǎo)致鍍材互相污染。本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì)，腔體和電控部分左右分置，實(shí)現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì)，真空系統(tǒng)、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作，通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過面板獨(dú)立操作，在盡可能方便用戶的同時規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計(jì)完善性能優(yōu)越，是實(shí)驗(yàn)室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗(yàn)的必備之選。
三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀應(yīng)用領(lǐng)域：金屬和介電膜 ，薄膜傳感器的制造 ，光學(xué)元件 ，納米與微電子 ，太陽能電池等。
技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀 |
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產(chǎn)品型號 |
CY-EVH500-III-HHH-SS |
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樣品臺 |
尺寸 |
*大支持φ150mm樣品 |
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功能 |
可旋轉(zhuǎn)，*高加熱500℃ |
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蒸發(fā)源 |
數(shù)量 |
鎢舟x3 |
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電源 |
每個蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源；三個蒸發(fā)源共三組獨(dú)立電源 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
φ300x400mm |
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觀察窗口 |
前置φ100mm |
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腔體材料 |
304不銹鋼 |
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開啟方式 |
前開門式 |
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膜厚控制（選配） |
晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀 |
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真空系統(tǒng) |
前級泵 |
雙極旋片泵 |
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抽氣接口 |
KF16 |
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次級泵 |
渦輪分子泵 |
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抽氣接口 |
CF160 |
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真空測量 |
電阻+電離 復(fù)合真空規(guī) |
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排氣速率 |
機(jī)械泵1.1L/s 分子泵 600L/s |
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極限真空 |
1.0E-5Pa |
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供電電源 |
AC 220V 50/60Hz |
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抽氣速率 |
旋片泵：1.1L/S |
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控制系統(tǒng) |
PLC自動控制 操作界面：觸控屏+操作面板 （觸摸屏可控制沉積過程和快速數(shù)據(jù)輸入；用戶友好 PLC 軟件系統(tǒng)，可以通過網(wǎng)絡(luò)更新） |
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其他 |
供電電壓 |
AC380V,50Hz |
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整機(jī)尺寸 |
1000mm X 800mm X 1500mm |
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整機(jī)功率 |
5kW |
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整機(jī)重量 |
350kg |
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