產品詳情
        • 產品名稱:桌面型不銹鋼腔體單靶磁控濺射鍍膜儀

        • 產品型號:CY-MSZ254-I-DC-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        單靶磁控鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用,也可實驗室SEM樣品制備
        詳情介紹:

        本設備為單靶磁控鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用,也可實驗室SEM樣品制備。

        本套配置采用高真空不銹鋼腔體,腔體設置帶擋板的石英觀察窗,便于實驗的觀察記錄;腔體設計真空性能優良,造型小巧,十分適合實驗室使用。同時設備配有旋轉加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質量。整機采用模塊化設計,操作邏輯簡單,操作界面直觀,利于上手。

        技術參數:

        產品名稱

        桌面型不銹鋼腔體單靶磁控濺射鍍膜儀

        產品型號

        CY-MSZ254-I-DC-SS

        樣品臺

        外形尺寸

        φ100mm

        加熱溫度

        ≦500℃

        可調轉速

        ≦20rpm

        磁控靶槍

        配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ254mm X 300mm

        觀察窗口

        前置式

        腔體材料

        304不銹鋼

        開啟方式

        上蓋拆卸式與前開啟式

        真空系統

        前級泵

        低噪音雙極旋片泵

        分子泵

        低噪音大抽速渦輪分子泵

        真空測量

        復合真空計,量程:10-5~105Pa

        抽氣接口

        KF16

        抽氣接口

        KF40

        排氣接口

        KF16

        系統真空

        1.0×10-4Pa

        供電電源

        AC 220V 50/60Hz

        抽氣速率

        分子泵抽速600L/s,前級抽速1.1L/s 

        電源配置

        電源數量

        直流電源一套

        輸出功率

        直流電源300W

        其他參數

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機功率

        2kW

        整機尺寸

        550mm X 350mm X450mm

        豫公網安備 41019702002438號

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