產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:光纖繞絲單靶磁控濺射鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSZ180-I-DC-SS?
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡(jiǎn)單介紹:
        單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀是一種用于制備薄膜的設(shè)備。它可以在基板表面形成均勻、致密、薄且具有特定性質(zhì)的膜層
        詳情介紹:

        單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀是一種常見的物**相沉積(PVD)技術(shù),用于制備各種薄膜材料。其工作原理是使用一種叫做磁控濺射的技術(shù),將高純度的金屬或合金靶材濺射生成離子和中性原子,并將它們沉積在基底上形成薄膜。在這種濺射系統(tǒng)中,使用單個(gè)靶材,通常是金屬或合金的圓盤形,通過(guò)在靶材上施加高電壓和磁場(chǎng),將靶材表面的粒子加速并噴向基底。由于基底通常是經(jīng)過(guò)高溫處理過(guò)的,因此濺射的金屬粒子會(huì)快速擴(kuò)散并形成均勻的薄膜。

        為了增加濺射速率和膜質(zhì)量,光纖繞絲技術(shù)被引入其中。在光纖繞絲技術(shù)中,將纖維繞在靶材和基底之間,形成一條薄薄的縫隙。通過(guò)調(diào)整靶材和基底之間的距離并控制濺射能量,可以更加**地控制沉積在基底上的薄膜的厚度和組成。

        單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀是一種用于制備薄膜的設(shè)備。它可以在基板表面形成均勻、致密、薄且具有特定性質(zhì)的膜層。

        這種濺射系統(tǒng)非常適合制備高質(zhì)量、高純度、均勻性好的金屬和合金薄膜,廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)、電池、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。

        1. 光學(xué)薄膜制備:用于制作高反射、抗反射等光學(xué)薄膜。

        2. 電子器件制備:用于制備半導(dǎo)體器件、導(dǎo)電膜等。

        3. 光學(xué)器件制備:用于制備太陽(yáng)能電池、液晶顯示器、LED等器件。

        4. 防護(hù)涂層制備:用于制備具有防水、防油、防紫外線、防磨損等性能的涂層。

        總的來(lái)說(shuō),單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域中的薄膜制備。


        單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-MSZ180-I-DC-SS

        供電電壓

        AC220V50Hz

        整機(jī)功率

        2kw

        繞絲機(jī)構(gòu)

        尺寸

        Φ15mmx245mm

        繞絲速度

        1-300r/min

        磁控濺射頭

        數(shù)量

        英寸x1

        冷卻方式

        水冷

        真空腔體

        腔體尺寸

        Φ213mm X 307mm

        觀察窗口

        φ80mm

        開啟方式

        上頂開式、左側(cè)開式

        腔體材料

        不銹鋼 304

        電源配置

        直流電源數(shù)量

        臺(tái)

        輸出功率

        300W

        匹配方式

        自動(dòng)匹配

        水冷系統(tǒng)

        水箱容積

        9L

        流量

        10L/min

        供氣系統(tǒng)

        類型

        手動(dòng)微量調(diào)節(jié)閥

        真空系統(tǒng)

        前級(jí)泵

        雙極旋片泵

        抽速

        1.1L/s

        次級(jí)泵

        渦輪分子泵

        抽速

        60L/s

        抽氣口

        ISO63

        出氣口

        KF16

        真空計(jì)

        復(fù)合真空計(jì)



        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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