產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號:CY-EVH600R-II-HH-SS
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        卷繞式蒸發(fā)鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物等
        詳情介紹:

            本儀器是一種高真空蒸發(fā)鍍膜儀,鎢絲籃(或鎢舟)用作蒸發(fā)源,并且樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離是可調(diào)的。 該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機(jī)物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。 該腔室配有觀察窗,因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統(tǒng)的**真空10E-4Pa,可有效提高涂層質(zhì)量,并能滿足大多數(shù)蒸發(fā)涂層實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。

        高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀用途:

        卷繞式蒸發(fā)鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物等。

        高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品名稱

        卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀

        產(chǎn)品型號

        CY-EVH600R-II-HH-SS

        供電電壓

        單相,AC220V, 50Hz

        真空腔體

        內(nèi)壁處理

        電解拋光

        腔體材料

        304不銹鋼

        腔體尺寸

        臥式Φ600mm×500mm

        觀察窗口

        前置φ100mm含遮光片

        開啟方式

        前開門式

        卷繞系統(tǒng)

        收放卷

        Φ200mmx300mm

        速度

        60m/min(可調(diào))

        張緊

        可調(diào)

        蒸發(fā)源和電源

        部件數(shù)量

        1套金屬蒸發(fā)源,帶獨(dú)立擋板

        電極電壓

        10V

        送絲速度

        3m/min

        蒸發(fā)電流

        功率2KW*大電流為160A,調(diào)節(jié)精度為1A

        蒸發(fā)器

        鎢舟,1個(gè)

        真空系統(tǒng)

        前級泵

        雙極旋片泵,抽速1.1L/s

        渦輪分子泵

        抽速:600L/s

        額定轉(zhuǎn)速:24000rpm

        啟動時(shí)間:≦4.5min

        冷卻方式:水冷+空冷

        進(jìn)氣接口:ISO150

        出氣接口:KF40

        真空度:5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar)

        抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的時(shí)間少于40分鐘

        復(fù)合真空計(jì)

        測量范圍 105Pa~10-5Pa

        膜厚監(jiān)測儀

        測量精度

        0.1?

        測量速度

        100ms-1s/

        可設(shè)置測量范圍

        500000?(鋁)

        標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體

        6MHz

        適用晶體尺寸

        Φ14mm (標(biāo)配10)

        空壓機(jī)

        作用于電控氣動閥

        水冷機(jī)

        冷卻水溫度:≦37℃

        流速:10L/min

        功率:0.1KW

        冷卻功率:50W/℃

        水箱容量:9L

        控制系統(tǒng)

        CYKY自研專業(yè)級控制器

        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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