產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:半導(dǎo)體薄膜電子束蒸發(fā)鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-EBH500-SS
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡(jiǎn)單介紹:
        電子束蒸發(fā)方式鍍膜設(shè)備,主要用于制備各種導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預(yù)處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料
        詳情介紹:

        該設(shè)備以電子束蒸發(fā)方式鍍膜設(shè)備,主要用于制備各種導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預(yù)處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質(zhì)襯底,也可用用于PDMS、PTFEPI等柔性襯底上鍍膜.


        電子束蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品名稱

        電子束蒸發(fā)鍍膜儀

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-EBH500-SS

        樣品臺(tái)

        外形尺寸

        <150mm,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)

        可調(diào)溫度

        500

        電子槍

        新型電子槍,6孔坩堝

        加熱燈

        4只鹵素加熱燈用于除氣,1個(gè)氖燈用于照明

        真空腔體

        腔體尺寸

        Φ500*H500mm

        觀察窗口

        直徑φ100mm

        腔體材質(zhì)

        304不銹鋼

        開啟方式

        前開門式

        膜厚測(cè)量

        采用SQM160膜厚儀進(jìn)行監(jiān)控,涂層厚度不均勻度小于6%

        真空系統(tǒng)

        前級(jí)泵

        雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

        次級(jí)泵

        渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

        真空測(cè)量

        復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī))

        系統(tǒng)真空

        5×10-5Pa

        水冷系統(tǒng)

        水壓<2.5bar 水壓監(jiān)測(cè)

        加熱燈

        4只鹵素加熱燈用于除氣,1個(gè)氖燈用于照明

        電極接口

        2路金屬蒸發(fā)電極接口

        控制系統(tǒng)

        CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器

        其他參數(shù)

        供電電源

        AC380V,50Hz

        整機(jī)尺寸

        1000mm×800mm×1500mm

        整機(jī)功率

        20KW

        整機(jī)重量

        350kg

        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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