產品詳情
        • 產品名稱:半導體薄膜電子束蒸發鍍膜儀

        • 產品型號:CY-EBH500-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        電子束蒸發方式鍍膜設備,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料
        詳情介紹:

        該設備以電子束蒸發方式鍍膜設備,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質襯底,也可用用于PDMS、PTFEPI等柔性襯底上鍍膜.


        電子束蒸發鍍膜儀技術參數:

        產品名稱

        電子束蒸發鍍膜儀

        產品型號

        CY-EBH500-SS

        樣品臺

        外形尺寸

        <150mm,樣品臺可旋轉

        可調溫度

        500

        電子槍

        新型電子槍,6孔坩堝

        加熱燈

        4只鹵素加熱燈用于除氣,1個氖燈用于照明

        真空腔體

        腔體尺寸

        Φ500*H500mm

        觀察窗口

        直徑φ100mm

        腔體材質

        304不銹鋼

        開啟方式

        前開門式

        膜厚測量

        采用SQM160膜厚儀進行監控,涂層厚度不均勻度小于6%

        真空系統

        前級泵

        雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

        次級泵

        渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

        真空測量

        復合真空計(電離規+電阻規)

        系統真空

        5×10-5Pa

        水冷系統

        水壓<2.5bar 水壓監測

        加熱燈

        4只鹵素加熱燈用于除氣,1個氖燈用于照明

        電極接口

        2路金屬蒸發電極接口

        控制系統

        CYKY自研專業級控制器

        其他參數

        供電電源

        AC380V,50Hz

        整機尺寸

        1000mm×800mm×1500mm

        整機功率

        20KW

        整機重量

        350kg

        豫公網安備 41019702002438號

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