產品詳情
        • 產品名稱:三英寸三靶磁控濺射鍍膜儀

        • 產品型號:CY-MSH325X-III-DCDCRF-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        三靶磁控鍍膜儀可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。該三靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備
        詳情介紹:
        三靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模塊化、可定制化的特點。三個3英寸磁控靶,一支是強磁靶,2支永磁靶;所配電源為2個500W直流電源和1個300W射頻電源,直流電源可用于金屬薄膜的制備,射頻電源可用于非金屬膜的制備,三個靶可以滿足多層或者多次鍍膜的需要。

        鍍膜儀配有兩路高精度質量流量計,客戶若另有需求可以定制至多四路質量流量計的氣路,以滿足復雜的氣體環境構建需求;儀器標配先進的渦輪分子泵組,極限真空可達1.0E-5Pa,同時另有其他類型的分子泵可供選購。分子泵的氣路由多個電磁閥控制,可以實現在不關泵的情況下打開腔體取出樣品,大大提高了您的工作效率。本產品可以選配一體機工控電腦對系統進行控制,在電腦程序上可以實現真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數功能,可以進一步提高您的實驗效率。

        磁控濺射鍍膜儀

        三靶磁控鍍膜儀應用范圍:

        該設備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。該三靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備。

        三靶磁控鍍膜儀技術參數:

        項目

        明細

        產品型號

        CY-MSH325X-III-DCDCRF-SS

        供電電壓

        AC220V50Hz

        整機功率

        6KW

        系統真空

        5×10-4Pa

        樣品臺

        外形尺寸

        φ150mm

        加熱溫度

        750℃

        控溫精度

        ±1

        可調轉速

        20rpm

        磁控靶槍

        靶材尺寸

        直徑Φ50.8mm,厚度3mm

        冷卻模式

        循環水冷

        水流大小

        不小于10L/Min

        靶槍數量

        3

        真空腔體

        腔體尺寸

        直徑φ325mm,高度600mm

        腔體材質

        SUU304不銹鋼

        觀察窗口

        直徑φ100mm

        開啟方式

        前面開啟

        氣體控制

        1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

        真空系統

        配分子泵系統1套,氣體抽速600L/S

        膜厚測量

        可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

        濺射電源

        直流電源功率500W*2,射頻電源功率300

        控制系統

        CYKY自研專業級控制系統

        真空計

        電阻規真空計

        設備尺寸

        1090mm×900mm×1250mm

        設備重量

        350kg


         

        豫公網安備 41019702002438號

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