產品詳情
        • 產品名稱:換位自轉等離子鍍膜儀

        • 產品型號:CY-PLZ180-I-DC-Q
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        本型號等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗,本設備配備換位自轉式樣品臺,用戶可以在觸控屏上實現一鍵換位,樣品臺可在兩個靶位自由切換,本設備體積小巧造型美觀功能強大,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
        詳情介紹:
        本型號換位自轉等離子鍍膜儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型換位自轉等離子鍍膜儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。換位自轉等離子鍍膜儀配備換位自轉式樣品臺,用戶可以在觸控屏上實現一鍵換位,樣品臺可在兩個靶位自由切換,到位后樣品臺還可進行自轉,以增強鍍膜的均勻性。另外客戶可以選配晶振式膜厚儀對膜厚進行監測,以提高鍍膜的精準度。

        本設備體積小巧造型美觀功能強大,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。

        換位自轉等離子鍍膜儀技術參數:


        產品名稱

        換位自轉等離子鍍膜儀

        產品型號

        CY-PLZ180-I-DC-Q

        樣品臺

        尺寸

        60mm

        到靶面距離

        可在兩個靶位間自動切換

        等離子濺射靶

        數量

        2英寸x1

        冷卻方式

        自然冷卻    

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ180mm X 150mm    

        觀察窗口

        全向可視

        腔體材料

        高純石英

        開啟方式

        頂蓋拆卸式

        上下蓋材質

        304不銹鋼

        抽氣接口

        KF25

        進氣接口

        1/4英寸卡套接頭

        電源配置

        數量

        直流電源x1

        輸出功率

        *大150W

        濺射電源

        3000V

        *大濺射電流

        50mA

        真空系統

        真空泵類型

        雙極旋片真空泵

        抽氣接口

        KF25

        排氣接口

        KF16

        抽氣速率

        1.1L/s4m3/h

        極限真空度

        1Pa

        真空測量

        電阻真空規

        其他

        供電電源

        AC 220V  50Hz

        整機功率

        1.5KW/2KW(旋轉加熱)

        整機尺寸

        570mm X 450mm X450mm

        整機重量

        30kg


         

        豫公網安備 41019702002438號

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