產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:三靶等離子濺射鍍膜儀(基礎(chǔ)型)

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-PLZ180-III-DC-Q
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡(jiǎn)單介紹:
        本型號(hào)小型等離子濺射儀,采用二級(jí)濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過(guò)程中無(wú)高溫,不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng),全部觸摸屏操作,便于學(xué)習(xí)使用。本型號(hào)儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),能夠有效的提升鍍膜的均勻性。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng),全部觸摸屏操作,便于學(xué)習(xí)使用。設(shè)備體積小巧造型美觀,是實(shí)驗(yàn)室鍍膜試驗(yàn)的*佳選擇。
        詳情介紹:

        技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品名稱

        三靶等離子濺射鍍膜儀(基礎(chǔ)型)

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-PLZ180-III-DC-Q

        樣 品 臺(tái)

        尺寸

        100mm

        到靶面距離

        20~35mm高度可調(diào)

        等離子濺射靶

        數(shù)量

        2英寸 x3   

        冷卻方式

        自然冷卻   

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ180mm X 200mm    

        觀察窗口

        全向可視

        腔體材料

        高純石英

        開(kāi)啟方式

        頂蓋拆卸式

        上下蓋材質(zhì)

        304不銹鋼

        抽氣接口

        KF25

        進(jìn)氣接口

        1/4英寸卡套接頭

        電源配置

        數(shù)量

        直流電源x1

        輸出功率

        *大150W

        濺射電源

        3000V

        *大濺射電流

        50mA

        真空系統(tǒng)

        真空泵類型

        雙極旋片真空泵

        抽氣接口

        KF25

        排氣接口

        KF16

        抽氣速率

        1.1L/s4m3/h

        極限真空度

        1Pa

        真空測(cè)量

        電阻真空規(guī)

        其  他

        供電電源

        AC 220V  50Hz

        整機(jī)功率

        1.5kW

        整機(jī)尺寸

        570mm X 450mm X550mm

        整機(jī)重量

        30kg




        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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