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PE-HPCVD等離子增強混合物理化學氣相沉積系統
本產品是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積（PE-HPCVD)雙溫區旋轉管式爐系統。該設備包括一臺雙溫區管式爐，一套鎢絲蒸發源，一套等離子發生裝置以及一套質量流量計系統。其工作原理是通過蒸發源將反應物在進氣端蒸發后通過氣流載入管式爐溫區內進行CVD反應，同時通過等離子增強促進反應的發生，適用于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆,如制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等。
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雙溫區管式爐 |
產品型號 |
CY-PE-HPCVD-50R-1100-Q |
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爐管材質 |
高純石英 |
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爐管直徑 |
50mm |
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爐管長度 |
1200mm |
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爐膛長度 |
440mm |
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加熱區長 |
200mm+200mm |
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工作溫度 |
0～1100℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫模式 |
30段或50段程序控溫 |
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顯示模式 |
高清全彩LCD觸控屏 |
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密封方式 |
304不銹鋼真空法蘭 |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz 2.5kW |
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RF輸出系統 |
功率范圍 |
0~300W可調 |
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工作頻率 |
13.56MHz+0.005% |
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工作模式 |
連續輸出 |
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匹配阻抗模式 |
能夠匹配，起輝均勻布滿爐管 |
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功率穩定度 |
≤2W |
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正常工作反射功率 |
≤3W |
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放大反射功率 |
≤70W |
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諧波分量 |
≤-50dBc |
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整機效率 |
≥70% |
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功率因素 |
≥90% |
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供電電壓/頻率 |
單相交流（187V~153V） 頻率50/60Hz |
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控制模式 |
內控/PLC 模擬量/RS232/485通訊 |
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電源保護設置 |
DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護 |
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冷卻方式 |
強制風冷 |
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起輝長度 |
在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿爐管 |
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蒸發舟 |
工作溫度 |
1300℃ |
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蒸發源 |
鎢絲籃,可選配錐形氧化鋁坩堝 |
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熱電偶 |
S型熱電偶 |
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工作電流 |
≤30A |
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*大功率 |
500W |
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供氣系統 |
流量計 |
四路質子流量計 |
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流量范圍 |
MFC1量程：0~200sccm MFC2量程：0~200sccm MFC3量程：0~500sccm MFC4量程：0~500sccm 分別對應氣體H2、 CH4、 N2、 Ar、 |
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測量精度 |
±1.5%F.S |
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重復精度 |
±0.2%FS |
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線性精度 |
±1%F.S. |
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響應時間 |
≤4s |
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工作壓力 |
-0.15Mpa~0.15Mpa |
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流量控制 |
液晶觸摸屏控制，數字顯示，每路氣體含有針閥單獨控制 |
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進氣接口 |
可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 |
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出氣接口 |
可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 |
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連接方式 |
雙卡套接頭 |
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工作溫度 |
5~45℃ |
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氣體預混 |
配氣體預混裝置 |
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真空系統
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產品型號 |
CY-GZK103-A |
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分子泵 |
渦輪分子泵 |
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前極泵 |
雙極旋片泵 |
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抽氣速率 |
分子泵：600L/S |
綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達：5×10E-3Pa |
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旋片泵：1.1L/S |
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極限真空 |
5×10E-4Pa |
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抽氣接口 |
KF40 |
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排氣接口 |
KF16 |
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真空測量 |
復合真空計 |
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