- 磁控濺射鍍膜儀
- 熱蒸發(fā)鍍膜儀
- 高溫熔煉爐
- 等離子鍍膜儀
- 可編程勻膠機
- 涂布機
- 等離子清洗機
- 放電等離子燒結(jié)爐
- 靜電紡絲
- 金剛石切割機
- 快速退火爐
- 晶體生長爐
- 真空管式爐
- 旋轉(zhuǎn)管式爐
- PECVD氣相沉積系統(tǒng)
- 熱解噴涂
- 提拉涂膜機
- 二合一鍍膜儀
- 多弧離子鍍膜儀
- 電子束，激光鍍膜儀
- CVD氣相沉積系統(tǒng)
- 立式管式爐
- 1200管式爐
- 高溫真空爐
- 氧化鋯燒結(jié)爐
- 高溫箱式爐
- 箱式氣氛爐
- 高溫高壓爐
- 石墨烯制備
- 區(qū)域提純爐
- 微波燒結(jié)爐
- 粉末壓片機
- 真空手套箱
- 真空熱壓機
- 培育鉆石
- 二硫化鉬制備
- 高性能真空泵
- 質(zhì)量流量計
- 真空法蘭
- 混料機設(shè)備
- UV光固機
- 注射泵
- 氣體分析儀
- 電池制備
- 超硬刀具焊接爐
- 環(huán)境模擬試驗設(shè)備
- 實驗室產(chǎn)品配件
- 實驗室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
技術(shù)參數(shù)
|
項目 |
明細(xì) |
|
|
產(chǎn)品型號 |
CY-MSH325-III-RFRFRF-UPS-SS |
|
|
供電電壓 |
AC220V，50Hz |
|
|
整機功率 |
6KW |
|
|
系統(tǒng)真空 |
≦5×10-4Pa |
|
|
樣品臺 |
外形尺寸 |
φ150mm |
|
加熱溫度 |
≦700℃ |
|
|
控溫精度 |
±1℃ |
|
|
可調(diào)轉(zhuǎn)速 |
≦40rpm |
|
|
磁控靶槍 |
靶材尺寸 |
直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm |
|
冷卻模式 |
循環(huán)水冷 |
|
|
水流大小 |
不小于10L/Min |
|
|
真空腔體 |
腔體尺寸 |
直徑φ325mm，高度385mm |
|
腔體材質(zhì) |
SUU304不銹鋼 |
|
|
觀察窗口 |
直徑φ100mm |
|
|
開啟方式 |
頂開式 |
|
|
氣體控制 |
1路質(zhì)量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM |
|
|
真空系統(tǒng) |
配分子泵系統(tǒng)1套，氣體抽速600L/S |
|
|
膜厚測量 |
可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ? |
|
|
濺射電源 |
配射頻濺射電源,功率500W*3 |
|
|
控制系統(tǒng) |
CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng) |
|
|
UPS |
20KVA 16KW，延遲1小時 16節(jié)電池，容量38AH |
|
|
設(shè)備尺寸 |
1090mm×900mm×1250mm |
|
|
設(shè)備重量 |
350kg |
|
