產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:三靶磁控濺射鍍膜儀雙電源

        • 產(chǎn)品型號:CY-MSH325-III-DCDCRF-SS
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        三靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發(fā)的一款高性價比磁控濺射鍍膜設(shè)備,具有標準化、模塊化、可定制化的特點。磁控靶有1英寸2英寸可以選擇,客戶可以根據(jù)所鍍基板的大小自主選購;所配電源為500W直流電源和500W射頻電源,直流電源可用于金屬薄膜的制備,射頻電源可用于非金屬膜的制備,三個靶可以滿足多層或者多次鍍膜的需要。若客戶有其他鍍膜需要,可以定制其他射頻電源和脈沖電源,各型電源均有300W到1000W多種規(guī)格可選。
        詳情介紹:

        該設(shè)備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。該三靶磁控濺射鍍膜儀與同類設(shè)備相比,其不僅應(yīng)用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設(shè)備。


        鍍膜儀配有兩路高精度質(zhì)量流量計,客戶若另有需求可以定制至多四路質(zhì)量流量計的氣路,以滿足復(fù)雜的氣體環(huán)境構(gòu)建需求;儀器標配先進的渦輪分子泵組,極限真空可達1.0E-5Pa,同時另有其他類型的分子泵可供選購。分子泵的氣路由多個電磁閥控制,可以實現(xiàn)在不關(guān)泵的情況下打開腔體取出樣品,大大提高了您的工作效率。本產(chǎn)品可以選配一體機工控電腦對系統(tǒng)進行控制,在電腦程序上可以實現(xiàn)真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數(shù)功能,可以進一步提高您的實驗效率。

        三靶磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

        三靶磁控濺射鍍膜儀(直流電源+射頻電源)

        產(chǎn)品型號

        CY-MSH325-III-DCDCRF-SS

        樣品臺

         

        尺寸

        φ140mm

        控溫精度

        ±1

        加熱溫度

        *500

        轉(zhuǎn)速

        1-20rpm可調(diào)

        磁控濺射頭

         

        數(shù)量

        2 x3 1,2”可選)

        水冷機規(guī)格

        10L/min流速的循環(huán)水冷機

        冷卻方式

        水冷

        真空腔體

         

        腔體尺寸

        Dia.300mm×300mm

        觀察窗口

        φ100mm

        開啟方式

        上頂開式

        腔體材料

        不銹鋼

        質(zhì)量流量計

        2路;量程100sccm100sccm(可根據(jù)客戶需要定制多路氣路)

        真空系統(tǒng)

         

         

         

         

        產(chǎn)品型號

        CY-GZK103-A

        抽氣接口

        CF160

        分子泵

        CY-600

        排氣接口

        KF40

        前極泵

        旋片泵

        真空測量

        復(fù)合真空計

        極限真空

        1.0E-5Pa

        供電電源

        AC;220V 50/60Hz

        抽氣速率

        分子泵:600L/S  旋片泵:1.1L/S  綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達: 1.0E-3Pa

        電源配置

        數(shù)量

        直流電源x2  射頻電源 x1

        *大輸出功率

        直流電源500W 射頻電源500W

         

        其他

         

         

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機尺寸

        600mm X 650mm X 1280mm

        整機重量

        300kg

        整機功率

        4KW

        極限真空度

        1.0E-5Pa




        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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