產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:三靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSH300-III-RFRFRF-SS
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        三靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)我公司研發(fā)的實(shí)驗(yàn)室專用鍍膜儀,典型的高速低溫濺射。三靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)可選配源功率從500W-1000W不等的射頻電源。
        詳情介紹:

        CY-MSP300S-3RF三靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)為我公司研發(fā)的實(shí)驗(yàn)室專用鍍膜儀,設(shè)備可選配直流電源,和射頻電源,功率從500W-1000W不等,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。
        磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優(yōu)點(diǎn),鍍膜速率高,樣品溫升低,是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層,水冷機(jī)能夠有效的帶走熱量,避免熱量在靶面聚集,使磁控鍍膜能長時(shí)間穩(wěn)定工作。

        設(shè)備經(jīng)過緊湊化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了體積與性能的平衡,造型美觀功能齊全。整機(jī)均采用觸控屏控制,內(nèi)置一鍵式鍍膜程序,操作簡單易上手,是一款實(shí)驗(yàn)室制備薄膜的理想設(shè)備。

        技術(shù)參數(shù):

        項(xiàng)目

        明細(xì)

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-MSH300-III-RFRFRF-SS

        供電電壓

        AC220V50Hz

        整機(jī)功率

        4KW

        系統(tǒng)真空

        5×10-4Pa

        樣品臺(tái)

        尺寸

        φ140mm

        控溫精度

        ±1

        加熱溫度

        *500

        轉(zhuǎn)速

        1-20rpm可調(diào)

        磁控濺射頭

        數(shù)量

        2 x3 1,2”可選)

        水冷機(jī)規(guī)格

        10L/min流速的循環(huán)水冷機(jī)

        冷卻方式

        水冷

        真空腔體

        腔體尺寸

        Dia.300mm×300mm

        觀察窗口

        φ100mm

        開啟方式

        上頂開式

        腔體材料

        不銹鋼

        質(zhì)量流量計(jì)

        2路;量程100sccm100sccm(可根據(jù)客戶需要定制多路氣路)

        真空系統(tǒng)

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-GZK103-A

        抽氣接口

        CF160

        分子泵

        CY-600

        排氣接口

        KF40

        前極泵

        旋片泵

        真空測量

        復(fù)合真空計(jì)

        極限真空

        1.0E-5Pa

        供電電源

        AC;220V 50/60Hz

        抽氣速率

        分子泵:600L/S  旋片泵:1.1L/S  綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達(dá): 1.0E-3Pa

        電源配置

        數(shù)量

         射頻電源 x3

        *大輸出功率

         射頻電源500W

        膜厚測量

        可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

        控制系統(tǒng)

        CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)

        整機(jī)尺寸

        600mm X 650mm X 1280mm

        整機(jī)重量

        300kg




        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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