產品詳情
        • 產品名稱:全自動勻膠機旋涂儀

        • 產品型號:CY-SPC8-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        全自動勻膠機旋涂儀是一種基于離心力原理的精密涂覆設備,通過程序化控制基片旋轉速度、加速度和時間,實現液體材料(如光刻膠、PDMS膠等)在基片表面的均勻分布,形成高質量薄膜或涂層
        詳情介紹:

             全自動勻膠機旋涂儀是一種基于離心力原理的精密涂覆設備,通過程序化控制基片旋轉速度、加速度和時間,實現液體材料(如光刻膠、PDMS膠等)在基片表面的均勻分布,形成高質量薄膜或涂層。其核心設計結合了自動化控制、**防護及高精度傳感器技術,廣泛應用于半導體制造、光學涂層、微機電系統(MEMS)及材料科學研究領域
        .核心功能特點

        ?1.精密控制能力?

        采用閉環控制伺服電機和數字式增速反饋系統,確保轉速穩定(100–10000 rpm)和加速/減速的精準控制,保障薄膜厚度均一性。

        支持多段程序化操作(如5段程序組、10個勻膠梯度階段),可自定義轉速、時間及加速度參數,滿足復雜工藝需求。

        ?2.自動化與**性?

        配備5寸全彩觸摸屏,支持智能編程和實時監控,實現一鍵操作和參數記錄。

        集成電磁**開關、自鎖上蓋和雙重密封設計,防止飛片事故和化學污染,確保操作人員**。

        ?3.多功能適配性?

        真空吸附系統兼容多種基片尺寸(如2–8英寸),支持真空固定基片,避免涂覆偏移。

              可選配超聲波加熱或惰性氣體保護功能,適用于光刻膠預烘烤或敏感材料的涂覆工藝。

        二、主要應用領域

        ?1.半導體制造?

        用于光刻膠涂布、SU-8模具制備等工藝,保障晶圓表面涂層的均勻性和厚度一致性。

        ?微流控與MEMS技術?

        PDMS芯片制作中均勻涂覆聚合物膠液,滿足微流控通道或傳感器結構的精密需求。

        ?2. 光學與材料科學?

        制備光學薄膜(如防反射涂層)、納米材料涂層,以及生物材料表面功能化處理。

        ?3. 科研與教育?

        適用于高校和實驗室的薄膜工藝研究,支持重復性實驗和教學演示

        產品特點:

        1、專業級伺服電機驅動,高精度、高重復性

        2、人性化設計,ARM控制,安卓全彩觸屏操作

        3、不銹鋼內腔,陽極氧化處理面板,美觀、整潔

        4、可連續、自動供膠,滿足工業用途

        5、可添加防濺罩式清洗和顯影功能,滿足定制需要

        6、適合處理超大或超重底物,*大處理12寸圓形底物

        7、更大尺寸和重型底物以及內腔抽真空等要求均可定制

        技術參數:

        產品名稱

        全自動勻膠機

        產品型號

        CY-SPC8-SS

        供電電壓

        AC220V  50Hz

        基片尺寸

        6寸、8寸鋁合金真空載物盤

        腔體材質

        不銹鋼

        轉速

        20-10000rpm

        轉速分辨率

        ±1rpm

        加速度可調范圍

        20-10000rpm/s

        單步時長

        3000s

        時間分辨率

        1s

        編程

        可編程100100步程序

        點膠端口

        可擴展帶四路自動點膠端口

        點膠功能

        可升級多路自動點膠功能

        滴膠方式

        自動

        操作方式

        液晶屏操作系統

        產品尺寸

        390*367*356

        產品重量

        35KG

        豫公網安備 41019702002438號

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