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產品詳情
簡單介紹：
CY-S-V真空防腐型勻膠機是內腔真空密封，采用承壓式內腔和蓋子，保證內腔環境可以抽真空至-0.06MPa以上負壓下進行勻膠處理。CY-S-V真空防腐型勻膠機有真空和常規兩種模式操作，可以在內腔抽真空和基片真空吸附兩種方式下進行。
詳情介紹：
真空防腐型勻膠機性能優點：
1.真空防腐型勻膠機主機機箱采用PP外殼材料，耐腐蝕易清潔
2.內腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料（HDPE）
3.采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
4.排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。
5.透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。
真空防腐型勻膠機技術參數：旋涂程序：至多可存100組程序，每組100步，每個步驟可**到0.1秒
轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 ：<±1rpm
轉速調節精度及重復性：1rpm
CY-S-V真空防腐型勻膠機帶真空數字顯示功能
工藝時間設定：0-3,000sec/step，時間設置精度：0.1sec
支持晶圓尺寸：碎片至200mm（8”圓晶）
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