產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:光刻膠烤膠機(jī)

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-HP200
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡(jiǎn)單介紹:
        光刻膠烤膠機(jī)在半導(dǎo)體及相關(guān)領(lǐng)域的光刻工藝中,主要用于光刻膠的烘烤和固化,確保圖案轉(zhuǎn)移的**性和工藝穩(wěn)定性
        詳情介紹:

        8英寸光刻膠烤膠機(jī)主要用于半導(dǎo)體制造中的光刻工藝,具體應(yīng)用領(lǐng)域和作用如下:

        應(yīng)用領(lǐng)域:

        半導(dǎo)體制造:用于光刻膠的烘烤,確保圖案轉(zhuǎn)移的**性。

        微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS):在MEMS器件制造中,用于光刻膠的固化。

        光電子器件:在激光器、探測(cè)器等器件制造中,用于光刻膠處理。

        平板顯示:在液晶和OLED顯示面板制造中,用于光刻膠烘烤。

        作用:

        去除溶劑:通過加熱蒸發(fā)光刻膠中的溶劑,增強(qiáng)附著力。

        提高穩(wěn)定性:固化光刻膠,提升其在后續(xù)工藝中的穩(wěn)定性。

        優(yōu)化圖形轉(zhuǎn)移:確保光刻膠均勻烘烤,提高圖案轉(zhuǎn)移精度。

        增強(qiáng)抗蝕性:提升光刻膠在刻蝕和離子注入中的抗蝕能力。

        主要特點(diǎn):

        均勻加熱:確保晶圓表面溫度均勻。

        **控溫:溫度控制精度高,適應(yīng)不同工藝需求。

        高效生產(chǎn):支持多片晶圓同時(shí)處理,提升效率。

        總結(jié):8英寸光刻膠烤膠機(jī)在半導(dǎo)體及相關(guān)領(lǐng)域的光刻工藝中,主要用于光刻膠的烘烤和固化,確保圖案轉(zhuǎn)移的**性和工藝穩(wěn)定性。

        8英寸光刻膠烤膠機(jī)技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品名稱

        8英寸光刻膠烤膠機(jī)

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-HP200

        加熱面板尺寸

        340mm*340mm方形

        電源輸入

        AC220V,1000W

        控溫范圍

        室溫-300°C

        溫度分辨率

        0.1℃

        控溫精度

        0.2°C

        溫度均勻性

        2%

        頂針高度分辨率

        0.1mm

        真空接口

        設(shè)備后板出口外徑6mm

        真空輸入要求

        0.04~0.09Mpa

        控制系統(tǒng)

        觸摸屏操作,**PLC控制

        設(shè)備重量

        10kg

        設(shè)備尺寸

        390*366*250mm

        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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