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磁控濺射鍍膜儀的原理與技術(shù)指標(biāo)
日期：2025-06-22 17:04
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摘要：
磁控濺射鍍膜儀是一種用于化學(xué)、材料科學(xué)、冶金工程技術(shù)、物理學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。濺射鍍膜的原理是稀薄氣體在異常輝光放電產(chǎn)生的等離子體在電場(chǎng)的作用下，對(duì)陰極靶材表面進(jìn)行轟擊，把靶材表面的分子、原子、離子及電子等濺射出來(lái)，被濺射出來(lái)的粒子帶有一定的動(dòng)能，沿一定的方向射向基體表面，在基體表面形成鍍層。
磁控濺射鍍膜儀技術(shù)指標(biāo)：
1、主真空室的本底真空優(yōu)于2×10－8Torr；
2、四英寸的基片范圍內(nèi)薄膜厚度均勻性優(yōu)于±2％；
3、可以濺射磁性和非磁性金屬、進(jìn)行直流和射頻濺射；
4、基片可以加熱（800℃）、冷卻（水冷）；
5、全自動(dòng)控制；
6、18英寸主濺射室；
7、高真空泵抽系統(tǒng)；
8、超高真空磁控濺射靶；直流/射頻電源；
9、4英寸樣品臺(tái)；
10、PhaseII-J控制系統(tǒng)。
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