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晶圓級(jí)大尺寸二硫化鉬制備CVD設(shè)備（1150 三溫區(qū) 3路MFC）
本設(shè)備為基于CVD原理設(shè)計(jì)的晶圓級(jí)大尺寸二硫化鉬制備裝置。包括三溫區(qū)管式爐，特殊設(shè)計(jì)的爐管及配套氣路一組。該設(shè)備通過(guò)特殊設(shè)計(jì)的管路，能夠?qū)⒎磻?yīng)氣體均勻的釋放于爐管，確保后端晶圓上的產(chǎn)物的一致性和均勻性。是二硫化鉬制備實(shí)驗(yàn)的不二之選。
特點(diǎn)
1.特殊管路設(shè)計(jì)，反應(yīng)氣體均勻的釋放
2.二硫化鉬制備不二之選
技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品型號(hào) |
CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 |
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爐管材質(zhì) |
高純石英 |
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爐管規(guī)格 |
外部大石英管 φ120mm x1000mm 內(nèi)部小石英管 φ25mm x820mm x7根 |
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溫區(qū)長(zhǎng)度 |
三溫區(qū)200mm+200mm+200mm |
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控溫精度 |
±1℃ |
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溫度曲線 |
三溫區(qū)獨(dú)立控溫，每個(gè)溫區(qū)均可設(shè)置30段時(shí)間溫度曲線 |
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工作溫度 |
0~1150℃ |
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升溫速率 |
≤10℃/min |
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進(jìn)氣系統(tǒng) |
三路質(zhì)量流量計(jì)Ar氣0~500sccm N2氣0~200sccm H2氣0~200sccm 配有七路分氣、混氣氣路及混氣灌。 |
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爐管法蘭 |
不銹鋼水冷法蘭，配有KF16真空接口，機(jī)械式真空計(jì)及不銹鋼針閥 |
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供電要求 |
AC 220V 50Hz 4kW |
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控制方式 |
7英寸觸控屏 |
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真空泵 |
雙極旋片真空泵 |
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真空度 |
理論極限真空度10^-1Pa |
