產品詳情
        • 產品名稱:雙溫區CVD系統

        • 產品型號:CY-CVD1200-50-200×200-2TH-Q
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        雙溫區CVD系統由1200℃雙溫區管式爐、雙通道質量流量計和低噪音雙極旋片真空泵組成。雙溫區CVD系統管式爐的兩個溫區分別由精密控溫儀表獨立控溫,通過調節各個溫區的溫度,該管式爐可以在加熱區內形成兩段溫度梯度或是形成較長的恒溫區域。
        詳情介紹:

        雙溫區CVD系統適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

        雙溫區CVD系統產品規格:

        主要技術參數

        顯示模式

        7英寸觸摸屏

        真空控制

        可通過參數設置,自動完成抽真空,恒壓工作

        爐管材料

        高純石英

        爐管尺寸

        直徑:50mm,長度1000mm

        加熱溫區

        兩溫區

        溫區長度

        200mm+200mm

        工作溫度

        室溫~1100

        控溫精度

        ±1

        升溫速率

        建議10/min

        控溫模式

        可編程程序控溫

        密封方式

        真空法蘭密封

        雙通道質量流量計

        氣體通道

        兩通道

        測量儀器

        質量流量計

        A路量程

        氫氣:0500SCCM

        B路量程

        氬氣:01000SCCM

        連接管道

        拋光不銹鋼管

        氣體緩沖器

        1000ml

        工作壓力

        3Mpa

        工作壓差

        0.3MPa

        管道接口

        6.35mm卡套接頭

        真空泵

        抽氣接口

        KF25

        排氣接口

        KF25

        抽氣速率

        24立方米/小時

        極限真空

        5.0E-2Pa

        電機功率

        1100W

        電機轉速

        1440/分鐘

        真空計

        傳感器類型

        皮拉力

        真空量程

        1.0E-1Pa1.0E5Pa

        安裝方式

        豎直放置

        工作電壓

        DC24V

        相關配件

        連接管道

        KF25波紋管1米長

        聚四氟管5

        石英爐管1

        爐管塞子4

        爐鉤1

        防護手套1

        真空法蘭1套(帶密封圈、針閥、氣路接頭)

        豫公網安備 41019702002438號

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